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注：EG-600已停產(chǎn)，現(xiàn)型號為EG-610

    EG-610型OZONE MONITORS（以下稱為顯示器）是配備微處理器的嵌入式顯示器。它們已經(jīng)發(fā)展為用于控制半導(dǎo)體制造過程中的臭氧濃度以及用于控制在同一過程中使用的高濃度臭氧發(fā)生器的傳感器。它由主體（控制單元）和檢測器單元組成，僅通過將管道連接到檢測器單元的兩端即可連續(xù)測量臭氧濃度。使用此監(jiān)視器，可以使用外部信號或前面板上的開關(guān)輕松執(zhí)行零位校準。除零氣體吸入（采樣氣體吹掃）計時器外，還有另一個內(nèi)置的時間間隔計時器，可以以任意設(shè)置的時間間隔定期執(zhí)行零校準。即使在關(guān)閉電源時，也會存儲此時獲得的零校準值，并在下次打開電源時應(yīng)用 很后的零校準值。自診斷功能監(jiān)視并顯示監(jiān)視器內(nèi)部的異常。由于此監(jiān)視器在檢測器單元內(nèi)部具有內(nèi)置溫度傳感器，因此可以執(zhí)行氣體溫度補償。類似地，由于壓力傳感器內(nèi)置在檢測器單元中，因此氣壓可以自動補償為大氣壓。通過使用可選的串行端口，您可以通過與主機進行數(shù)據(jù)通信來獲取更準確的數(shù)字數(shù)據(jù)。